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Product Numbers:20202817136
Price:
Product introduction:纳米高度测量仪是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
特点：
纳米高度测量仪MTM-3020MA是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
特点：
1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力
2. 电动Z轴分辨力0.1μm
3. 具有高度自动测量
4. 内建偏光测量光学模块
5. 高速/无接触测量
6. 同轴光/底光测量
7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
纳米高度测量仪MTM-3020MA技术规格参数：
型号 |
MTM-3020MA |
||||
工作台 |
金属台尺寸(mm) |
500 x 330 |
|||
玻璃台尺寸(mm) |
350 x 250 |
||||
X、Y轴运动行程(mm) |
300 x 200 |
||||
手动Z轴行程(mm) |
120 |
||||
自动Z轴行程(mm) |
2 |
||||
外形尺寸(mm) |
825 x 660 x 910 |
||||
仪器重量(kg) |
130 |
||||
X、Y、Z轴分辨力(μm) |
0.5 |
||||
自动Z轴分辨力(μm) |
0.1 |
||||
示值误差(μm) |
E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度，单位mm) |
||||
物镜放大倍数误差 |
包括畸变在内的放大率误差≦0.08% |
||||
落射照明光源 |
可调高亮度卤素灯 |
||||
底光照明光源 |
可调高亮度LED灯源 |
||||
目视系统 |
影像系统 |
||||
物镜放大倍数 |
5X、10X、20X、50X |
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜 |
|||
目镜放大倍数 |
10X双镜筒 |
1/2”CCD摄像机 |
|||
视频总倍率 |
50X ~500X |
142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900) |
|||
单层透明膜厚度测量模组 |
|||||
高精度测量模式 |
快速测量模式 |
||||
厚度测量范围 |
100nm ~300nm |
300nm ~500nm |
500nm ~3μm |
3μm ~20μm |
|
分辨力 |
5nm |
5nm |
7.5nm |
0.1μm |
|
