工具显微镜的 数显系统的检定

 数显系统的检定 

    根据万工显检定规程中的相关规定，需要检定读数装置的示值差别、读数装置的回程差别和示值差别。 

（ 1 ） 读数装置的示值差别检定 

    对数显系统来说，读数装置的示值差别就是数显表的*小分辨率，即± 0.5 μ m ，无须检定。 

（ 2 ）读数装置的示值差别的检定（相当于磁栅尺的重复性） 

    光栅尺读数装置就其构造和原理来说是没有回程差别的，当然这需要很高的工艺水平做保证。通过用 0.1 μ m 的电感测微仪反复测试，光栅尺读数装置的回程差别不超过 0.5 μ m 。 

（ 3 ）示值差别的检定（相当于磁栅尺的准确性） 

    用检定极限差别不大于 0.5 μ m 的玻璃刻度尺作为标准，按照规程规定的条件方法对纵、横向分别进行检定；若没有玻璃刻度尺，可用万工显原有的刻度尺与光栅尺进行比较检定，并用仪器原有的示值差别进行修正，以确定光栅尺各被检点的实际差别，若有超差再用线性补偿系统进行补偿。